复合分子泵作为高真空设备中的关键部件，其稳定运行直接影响系统性能。当出现故障时，及时准确的判断和处理能有效减少停机时间。以下针对常见故障现象提供排查思路和解决方法。

一、抽速下降或极限真空度不足

1.检查油路状态

若为油润滑分子泵，首先观察润滑油颜色和粘度。油液浑浊或粘度过低时需更换同型号油品。换油前便民清洗油箱和油路，确保无残留杂质。油量需严格控制在视窗标线范围内，过多会导致油雾返流，过少则润滑不足。

2.排查密封性能

用氦质谱检漏仪检测泵体各法兰连接处，重点检查轴封和出入口密封圈。若发现漏点，更换耐高温氟橡胶密封件（通常耐受150℃以上）。安装时注意清除密封槽内残留物，涂抹少量真空硅脂提升密封性。

3.转子系统检查

断电后手动旋转转子，感受是否有卡顿或异响。轻微摩擦可尝试多次启停磨合，严重卡阻需拆解清洁转子与定子间隙。使用无纺布蘸取分析纯级乙醇擦拭叶片，严禁使用含氯溶剂。

二、异常振动与噪音

1.动平衡校正

长期运行后转子可能出现动平衡偏差。使用振动检测仪测量泵体三个方向的振幅，若超过5μm需返厂重新做动平衡校正。临时处理时可尝试调整泵体安装水平度，误差应控制在0.1mm/m以内。

2.轴承状态评估

前端轴承失效会产生规律性金属摩擦声。拆解后检查轴承滚道磨损情况，更换时注意保持环境清洁度（建议在百级洁净台操作）。安装新轴承需采用热装法，加热温度不超过120℃，避免使用明火直接加热。

3.电源频率波动

用示波器检测驱动电源输出波形，三相电压不平衡度超过2%时需调整供电线路。加装稳压滤波器可有效抑制高频谐波干扰。

三、电机过热保护

1.散热系统维护

清理散热片积尘（压缩空气吹扫压力建议0.3-0.5MPa），检查冷却风扇转速是否正常。风冷式泵的环境温度应保持在40℃以下，必要时加装辅助散热装置。

2.负载监测

检查泵入口压力是否持续高于10Pa工作范围。若系统存在周期性放气，应在入口加装缓冲腔。同时排查涡轮叶片是否有异物附着，导致转动惯量增大。

3.绕组绝缘测试

使用500V兆欧表测量电机相间绝缘电阻，低于50MΩ时需进行绕组烘干处理。若发现漆包线局部发黑，建议更换整个定子组件。

四、控制器报警处理

1.错误代码解析

常见E01报警多为过流保护，检查电源模块电容是否鼓包；E03报警通常关联温度传感器故障，需检测PT100探头阻值（0℃时应为100±0.5Ω）。

2.参数重置方法

长按控制面板SET键5秒进入高级菜单，恢复出厂参数后需重新设置泵型号代码。对于变频驱动型号，加速时间应设定在180-240秒范围内，避免短时过载。

3.备用电源测试

配备UPS的系统需每月进行一次断电模拟测试，蓄电池组电压低于标称值80%时应立即更换。

五、预防性维护建议

1.建立运行日志

记录每日启动时间、入口压力、轴承温度等数据，绘制趋势曲线便于早期发现异常。建议每2000小时进行一次油品检测，每5000小时更换轴封组件。

2.备件管理

常备碳刷、密封圈、温度传感器等易损件。存放时注意防潮，橡胶件保质期通常不超过18个月。

3.操作规范培训

新操作员应接受不少于8课时的实操培训，重点掌握紧急停机流程（先关入口阀再断电）和基本故障识别方法。

遇到复杂故障时，建议联系设备制造商提供技术支持。维修后需进行24小时试运行，确认性能参数恢复至出厂标准的90%以上方可投入正式使用。定期维护能显著延长设备使用寿命，通常保养良好的分子泵可持续工作30000小时以上。